設(shè)備簡介
MOC磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)是一種雙夾具門單腔體大型磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī),可鍍面積10.65平方米,每個(gè)門配有一個(gè)工件架,雙門交替工作。
設(shè)備采用單質(zhì)靶材氬氣環(huán)境下濺射成膜后再在ICP射頻等離子體區(qū)化合成金屬化合物膜的成膜方式,能夠在最大程度上加快介質(zhì)膜的沉淀速度,大幅提升鍍膜生產(chǎn)效率。
設(shè)備配備鈮、硅等靶材,可在膜片、復(fù)合板、玻璃等2D和3D素材上鍍制Nb205、SiO2、Si3N4等膜層,完成AR、超硬AR、顏色膜等光學(xué)類膜系的鍍制,并且AF膜可同輪完成。
設(shè)備可用于手機(jī)后蓋彩色及漸變色裝飾膜、車載顯示屏、手機(jī)攝像頭蓋板、筆電、工控等顯示屏減反射膜大規(guī)模鍍膜生產(chǎn),也適用于傳統(tǒng)精密光學(xué)濾光片、VR、AR等現(xiàn)代智能電子產(chǎn)品光學(xué)元件的鍍膜。
可鍍面積(公轉(zhuǎn))和生產(chǎn)節(jié)拍
型號(hào) |
MOS-1600 |
MOS-2100 |
MOS-2600 |
可鍍面積(平方米) |
2.83 |
6.86 |
10.65 |
鍍膜時(shí)間(240nm膜厚) |
小于50分鐘 |
小于50分鐘 |
小于50分鐘 |
鍍膜時(shí)間(3000nm膜厚) |
小于180分鐘 |
小于180分鐘 |
小于180分鐘 |